микроэлектроника, возможности отечественной науки и промышленности в этой области. Так, например, когда программа по созданию полупроводниковых БИС оперативного запоминающего устройства (ОЗУ) с емкостью 4 килобита (кристалл содержит около 20000 транзисторов) докладывалась на заседании ВПК, то в повестке ей было отведено всего 15 минут, но только после дискуссии, занявшей два часа, в ходе которой до присутствовавших заместителя председателя СМ СССР Смирнова, министров и военных удалось донести, что эта БИС была эквивалентна по своим функциональным возможностям двум печатным платам размером 50х50 см, содержащим несколько тысяч ферритовых колец, и 250 гибридных ИС 'Посол', были приняты решения по оказанию соответствующей поддержки развитию микроэлектроники.
А насколько такая поддержка была необходима и в каких объемах, видно хотя бы из следующего. В одном только базовом процессе производства ОЗУ 4К использовалось 109 типов основного оборудования и 210 типов вспомогательного: диффузионное, напылительное, плазменное, эпитаксиального наращивания, окислительное, ионно — химическое, магнетронного распыления, фотолитографические линейки, функционального контроля логических схем, а также сборочное, контрольно-измерительное и испытательное и многое другое. Причем сроки разработки оборудования и его опытная эксплуатация должны были опережать начало производства ИС.
Одним из важнейших достижений в оснащении отрасли стало появление оборудования, основанного на новых физических принципах обработки, например, ионами различных веществ или лазерным излучением. Характерным в создании технологического оборудования с новыми принципами обработки было то, что многие его компоненты разрабатывались в самой электронной промышленности и находили здесь первое практическое применение.
Твердотельные и газовые лазеры, разработанные и выпускаемые предприятиями министерства широко применялись для подгонки номиналов резисторов, как дискретных, так и на микросхемах, для ретуши фотошаблонов, для разделения пластин ИС на кристаллы, для заварки корпусов ИС, в инструментальном хозяйстве и для многого другого. Оборудования лазерной обработки материалов выпускали в МЭПе едва ли не столько же, сколько во всем остальном мире (по осторожной оценке!).
С момента создания в 1962 году головной по квантовой электронике научно-исследовательский институт 'Полюс' возглавлял М. Ф. Стельмах. Пройдя фронт, Митрофан Федорович пришел в 108-й институт, где успешно работал над приборами СВЧ-техники. Во главе института совершенно новой направленности, ему удалось в тесном взаимодействии с академиками А. М. Прохоровым и Р. В. Хохловым создать очень сильный научный коллектив создателей лазерной техники.
Технология ионной имплантации позволяет изменять свойства твердого тела путем внедрения в него ионов. Разработка установок ионной имплантации велась на одном из старейших предприятий отрасли, НИИ вакуумной техники, под руководством главного конструктора В. А. Симонова. А.И. очень уважал и даже любил многих разработчиков специального технологического оборудования, но Симонова выделял особенно. Что же до технологии ионной имплантации, то ее А.И. внедрял буквально силком, преодолевая сопротивление своих же 'специалистов' в области полупроводникового производства. Еще одним применением ионной технологии стал метод сухого травления, то есть снятия резиста, нанесенного на кремниевую пластину, с помощью плазмы (представляющей собой облако заряженных ионов).
Кстати, Научно-исследовательский вакуумный институт, как он тогда назывался, был создан в 1947 году на основе Центральной вакуумной лаборатории Министерства электротехнической промышленности. И лабораторией, и институтом руководил тогда С. А. Векшинский. С 1946 года здесь велись огромные работы не только в интересах электровакуумной промышленности, но и Уранового проекта.
Получение высокообогащенного U235 методами диффузионного и электромагнитного разделения потребовало создания специальных установок, для оснащения которых были необходимы производительные и надежные средства вакуумной техники. Была начата разработка уникальных для того времени диффузионных паромасляных насосов, вакуумметров теплового и ионизированного типов, газоразрядных детекторов ионизирующих излучений, рабочих жидкостей для насосов и уплотнительных материалов. Среди непосредственных исполнителей этих работ был и В. А. Симонов.
В начале 60-х годов институт был подключен к созданию специальных электровакуумных приборов для использования в атомной промышленности и в первую очередь оснащения приборами заводов по разделению урана газодиффузионным и электромагнитным методами, создаваемых в Свердловске-44 и Свердловске-45.
Выполненные под руководством выдающегося ученого в области электроники и вакуумной техники академика С. А. Векшинского разработки средств откачки и измерения вакуума, средств течеискания, рабочих жидкостей для насосов и уплотнительных материалов, детекторов излучений, вакуумных систем и установок, сыграли важную роль в создании и развитии отечественного ядерного оружия и ядерной техники, но особо следует отметить роль института в создании специальных электровакуумных приборов для подрыва ядерных боеприпасов.
Заметное место в номенклатуре выпуска электронной промышленности заняла вычислительная техника.
Ее основу составляли изделия необходимые прежде всего для автоматизации и, как мы теперь говорим, компьютеризации самой отрасли: мини и микро-ЭВМ, инженерные калькуляторы, выпускавшиеся предприятиями шестого главка. Верный политике опоры на собственное машиностроение, А.И. не пожелал зависеть в этом важнейшем деле от других министерств, в частности от Министерства приборостроения и автоматизации.
Многое в нашей стране было под грифом 'секретно', в том числе основные результаты работы предприятий электронной промышленности, поэтому огромное большинство советских людей, даже специалистов либо просто ничего о них не знало, либо знало очень мало. Павильон 'Радиоэлектроника' на ВДНХ за двадцать лет совсем пришел в упадок, и его экспозиция никак не отражала истинного уровня достижений создателей электронной аппаратуры. Наконец осенью 1979 года впервые решились на широкий показ на ВДНХ результатов работы отечественной микроэлектроники в виде разнообразных образцов продукции, а также ближайших и перспективных целей стратегии ее развития. На выставке побывали члены правительства, руководители промышленности и просто инженеры. Практически единодушное мнение рядовых советских граждан (да и не только рядовых), отраженное в книге посетителей, сводилось к удивлению от увиденного и обиде на сокрытие информации, мешавшее продвижению отечественных электронных изделий в практическое применение.
Пожалуй, в еще большее изумление советские граждане пришли, когда через несколько лет на открытых выставках было показано некоторое технологическое оборудование, разработанное и выпущенное в МЭПе.
Оценить по существу достоинства микросхем и сложность их изготовления мало кто мог, а вот оборудование для понимания основной массы посетителей было более доступно.
Первое, что бросалось им в глаза и поражало, был внешний вид. Многолетняя требовательность А.И. при посещении им предприятий и на выставках в 'Электронике', дала свои плоды, и 'железо' (применяя жаргон разработчиков), выпускавшееся в МЭПе, сильно отличалось и дизайном, и качеством изготовления, и окраской поверхностей от всего, что выпускалось другими, и это было заметно даже на закрытых выставках ВПК во Всесоюзном институте легких сплавов близ станции Сетунь, где сравнение проходило с продукцией оборонных отраслей. На выставке лазерного оборудования, прошедшей в 1982 году на ВДНХ, мне довелось общаться с посетителями, которые не верили, что без этих установок серийное производство соответствующих изделий электронной техники уже не мыслилось, а часть из них даже успела морально устареть. Некоторые просто возмущались 'очередной показухой на выставках': 'Хватит нас обманывать! А то мы не знаем, какое оборудование у нас на заводах стоит. Сами работаем'.
Показанному на открытых выставках удивились не только советские граждане. Среди посетителей- иностранцев были представители прессы, которые отразили свои впечатления от увиденного в соответствующих изданиях. Надо иметь ввиду, что тон американских средств массовой информации в отношении военно-промышленного потенциала Советского Союза в соответствии с пожеланиями заказчиков имел сезонные изменения — от самого истеричного в короткий период рассмотрения и утверждения ассигнований на оборону в федеральном бюджете до уничижительного — сразу после его утверждения и все остальное время. На электронику эти сезонные изменения не распространялись здесь превосходство всегда считалось абсолютным и составляло особую гордость американцев. У них были
