Отдельно шел перечень запретов для сотрудников рабочих зон, включающий в себя даже резкие движения. А также строжайшие наказания за нарушение всего вышеперечисленного. Очень жалел, что нет возможности развернуть нормальную систему видеонаблюдения. После того, как я буквально поймал за руку девушку с носовым платком, выставили на входе натуральный таможенный досмотр и фейс-контроль. К примеру, следы туши на ресницах влекли немедленный запрет на работу и депремирование. Заодно пришлось поставить умывальники и прикрутить к стенам индивидуальные сейфовые ячейки под ювелирку, часы, документы и деньги.
Через месяц у меня было стойкое ощущение, что многие работники (и особенно работницы) занимались натуральным саботажем, умышленно снимали маски, скрывали состояние здоровья. Последнее оказалось далеко не маленькой проблемой. Круглосуточная трехсменная работа позволила быстро накапливать статистику. Выяснилось, что банальный насморк очень плачевно сказывается на выходе исправных микросхем. Более того, даже женские циклы прямо и недвусмысленно влияли на качество пластин, хотя эту тему мы все же предпочли не поднимать[208].
Излишнего говорить, что эти методы не прибавили мне популярности на производстве. Сотрудники увольнялись десятками и сотнями. Это при удвоенных зарплатах и приоритетном продуктовом снабжения. Голоса за спиной стали настолько громки, что начал подумывать об охране, особенно после тотального запрета усов и бород. Спас положение Маслов, директор НИИ. Он вовремя догадался провести для сотрудников специальный цикл лекций, с привлечением технологов и медиков. Это немного сняло напряжение, вернее отдалило грань, за которой начинается мордобой.
Недостаток рабочих рук продолжал оставаться узким местом проекта. В конце января работающим в чистой зоне сократили продолжительность рабочего дня до шести часов с переходом на четырехсменный режим работы, и еще больше увеличили зарплаты.
Несмотря на поистине драконовские меры, выход годных процессоров хоть и увеличился раз в пять, но все равно шел на проценты. Когда с одной 25-миллиметровой пластинки в дело идет три-четыре годные интегральные схемы, остальные две сотни ссыпают в мусор – становится обидно[209]. Но ученые и так на пределе, каждый цилиндр кремния воспринимают как новый бой, с бессонными ночами и испорченным химией здоровьем.
Кстати, справиться с микросхемой часов целиком в «Пульсаре» все же не смогли. Под дамокловым мечом съезда партии, они самочинно, никого не спрашивая, разделили исходный чип на два логических, выделив усилитель кварцевого генератора и делитель частоты «на 512» в отдельную интегральную схему. С парой чипов[210] итоговый выход годных комплектов был существенно больше. Вероятно, это было чрезвычайно правильное решение, которым они спасли как свою, так и мою задницы.
Пульсаровцы вообще молодцы, ведь почти все приходится делать вручную. Топология схем разводится на обычной миллиметровке. Потом проверяется парой независимых СНСов в поисках ошибок. Потом еще раз… и еще… и еще. Затем дорожки в сильно увеличенном масштабе вырезаются на огромных кусках рубелита. Это специальный стабильный лавсан, покрытый красной пленкой, которую надо удалить в «ненужных» местах. Прямо как на скульптурах Микеланджело[211]. И опять все проверять, не содрался ли где лишний кусочек пластика.
Для этого пришлось изобрести специальный «координатограф», который направлял процесс ручного вырезания. Измерение координат, перенос, настройка, все вручную. Плоттеров тут нет, хотя после моих рисунков Маслов серьезно задумался. Конечно, без образца из Тойоты ничего бы не вышло. Но вот был ли значимым именно технологический вклад артефакта? Есть у меня в этом большие сомнения.
Топологию с чипа получили в готовом виде, для этого ничего не требовалось кроме хорошего микроскопа. Нам дико повезло, что он был однослойным, что совсем не характерно даже для изделий 90-х годов. Кроме значительного выигрыша во времени, это позволило обойти часть совершенно неочевидных для 65-го года технологических капканов. С остальными задачами все было не так радужно.
Для начала, технология в образце использовалась на 6 мкм. И это мне еще жутко повезло, позже я понял, что встретить чип «хуже 1 мкм» в 2010 году почти невозможно. Оборудование «Пульсара» позволяло только 10 мкм, но тут, по крайней мере, все казалось вполне «земным», не было особых вопросов по происхождению часов.
Главное, мои представления о послойной «шлифовке» для понимания химсостава оказались несколько… примитивными, если не сказать больше. Дело в том, что сам полупроводник, по сути, простой легированный материал. Состав веществ давно известен, нужно всего-то узнать трехмерную структуру, по которой все это распределяется. Для понимания устройства затвора, к примеру, нужно в микроскопе выбрать точку, где есть нужная «конструкция», и испарять все слои, пока есть подозрение, что они там вообще есть. В идеале – вообще насквозь. В процессе масс-спектрометром смотреть, из чего состоит слой. Причем все это в глубоком вакууме. И так – во многих точках.
Но образец-то один! А надо – хотя бы несколько десятков, лучше сотен. В общем, что-то, конечно, из артефакта получили. Даже спорили между собой, что важнее смотреть, потом – почему так получилось. Многие уже не знают куда складывать заявки на авторские свидетельства от подобных мини-открытий.
Но основным драйвером прорыва все же стало обычное человеческое упрямство. В шестидесятых это еще играло роль, ученые считали себя как минимум «не хуже американцев». И грызли проблему едва ли не зубами.
Следующей проблемой стало совмещение слоев. Возможно, она даже самая сложная на данном этапе, если не считать подбор химии всяческих паст и порошков[212]. Засвечивать фоторезист на пластине кремния нужно далеко не один раз. Тут не увеличенный масштаб шаблона, а натуральный. Так что точность совмещения – единицы микронов. Без автоматики, руками не слишком квалифицированных сотрудниц. Но ничего, после написания инструкции на два десятка листов даже это стало получаться.
Сейчас молодые топы «Пульсара» удивляются своей наглости, полученному результату, и присматривают новые костюмы для выхода на церемонию торжественного награждения. Без этого не обойдется, они добились немалого за удивительно короткий срок.
Сейчас сидят в курилке и сплетничают на производственные темы. Меня давно не стесняются, привыкли, как продавщицы из супермаркета к видеокамере над кассой.
— Нинка-то, прикинь, температуру на загонке фосфора держит точно как робот.
— Которая новенькая, в очках?
— Не, ту дуру даже вскрывать контактные площадки ставить нельзя. Рыженькая, еще хвостик делает смешной…
— Да под капюшоном не видно ни хрена, симпатичная хоть?
— Не, ребят, все ж Наташка поинтереснее будет.
— Замужем она, а то…
— Плевать! Зато в комбезе такая попа!
— Она третьего дня этой задницей так проявитель пихнула, что чуть едкий калий не выплеснула.
— Запорола много пластин?
— Да мелочи, все вам недостатки искать. Зато девушка огонь!
— Давай ее на разгонку бора переведем, там тигель с трудом последнюю сотню градусов набирает…
Против существующих в СССР серийных образцов даже полученные с грехом пополам квадратики – как Форд-Т с каретой сравнивать. Что сейчас производится, вернее, что производилось? Ведь не зря ЭВМ собирают до сих пор на транзисторах, микросхемы идут чуть ли не исключительно в оборонку. Да можно ли их так называть?
Резисторно-транзисторная «Тропа», 25 элементов на квадратный сантиметр. Или даже кубический, потому как выглядит это чудо как металлический кубик с толстыми ножками внизу. По сути, там несколько кристаллов транзисторов в одном корпусе. Плюс два десятка пленочных резисторов. Работает этот плезиозавр микроэлектроники медленно и греется прилично. Ему на смену идет диодно-транзисторный «Посол», до 50 элементов в том же форм-факторе, чуть побыстрее и похолоднее. Пока дефицит и топ- секрет. Еще военные какие-то микросборки используют, но это совсем трилобиты раннего кембрия. Проходит все это веселое хозяйство по документации как «Интегральные Схемы», но сами разработчики уже давно так
